Note ABES Photonic jet for spatial resolution improvement in direct pulse near-IR laser micro-etching Optimisation de jets photoniques pour l’augmentation de la résolution spatiale de la gravure directe par laser Jet photonique Gravure directe par laser Microsphère en verre Limite de diffraction Fibre optique Silicium Photonic jet Direct laser etching Glass microsphere Difraction limit Spheroid-tip optical fiber Optical fiber etching 535 621.36 Lasers femtoseconde Cristaux photoniques Fibres optiques Faisceaux laser -- Diffraction Ce travail de thèse a permis de montrer que la résolution latérale de gravure de lasers proches infrarouges nanosecondes pouvait être réduite en faisant passer le faisceau à travers des microbilles de verre ou des fibres de silice à embouts façonnés de telle manière à générer des jets photoniques. Sur du silicium la taille de gravure peut être réduite d’un facteur 44 comparée à celle d’une gravure directe sans jet photonique. Les densités de puissances atteintes permettent même d’envisager de graver le verre avec ce type de laser malgré sa très faible absorption à ces longueurs d’onde. Pour la première fois nous avons montré la possibilité d’obtenir des jets photoniques en sortie de fibre optique à embout façonné. Nous avons montré leur capacité à graver le silicium à l’échelle du micron et ce avec un laser proche infrarouge nanoseconde. La possible utilisation de fibres optiques est une condition clairement décisive à la réalisation d’un réel procédé laser capable de graver des motifs complexes et de façon répétée. This work has shown that the lateral resolution etching using near infrared lasers nanoseconds could be reduced by passing the beam through a glass microsphere or a silica fibers with spheroid shape in such a way to generate photonic jets. Etching on silicon size with a glass microsphere can be reduced by a factor of 44 compared to that of a direct etching without photonic jet. Powers reached densities allow even consider burning the glass with this type of laser, despite its very low absorption at these wavelengths. For the first time we have shown the possibility of obtaining photonic jets coming-out of a spheroid-tip of fiber optic. We also have shown the ability to etch silicon at the micron scale using the near infrared nanosecond laser. The possible use of optical fibers is clearly a decisive condition for the realization of a laser capable of etching process real intricate designs and repeatedly. Electronic Thesis or Dissertation Text en PDF 7218800 Université de Strasbourg Strasbourg 2016-12-31 https://theses.hal.science/tel-01330747 application/pdf 6489237 https://publication-theses.unistra.fr/public/theses_doctorat/2015/Abdurrochman_Andri_2015_ED269.pdf http://www.theses.fr/2015STRAD028/abes https://theses.hal.science/tel-01330747 https://theses.hal.science/tel-01330747 https://theses.hal.science/tel-01330747 Abdurrochman Andri 1974-05-26 ID 193702959 21116346 https://theses.fr/2015STRAD028 2015STRAD028 https://doi.org/10.70675/b068aa83z4121z435fz8383zdfe0c9ed897c 2015-09-15 Photonique et image Strasbourg 131056549 Doctorat Docteur es non oui Fontaine Joël MADS_DIRECTEUR_DE_THESE_1 061118702 Lecler Sylvain MADS_DIRECTEUR_DE_THESE_2 146824288 Meyrueis Patrick MADS_PRESIDENT_DU_JURY 070140405 Tumbelaka Bernard Yahya MADS_MEMBRE_DU_JURY_1 168558491 Delaporte Philippe MADS_RAPPORTEUR_1 032307802 Sauviac Bruno MADS_RAPPORTEUR_2 078960894 École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg ; 1997-....) MADS_ECOLE_DOCTORALE_1 MA 156504863 Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (Strasbourg ; 2013-....) MADS_PARTENAIRE_DE_RECHERCHE_1 UMR7357 176969721 260728 ddc:530 ddc:620 Fontaine Joël Lecler Sylvain Meyrueis Patrick Tumbelaka Bernard Yahya Delaporte Philippe Sauviac Bruno École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg) Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (Strasbourg) PDF 7218800