Note ABES Mesure et dangerosité des métaux nobles pour les photodétecteurs à avalanche à photon unique Noble metal measure and hazardousness to single photon avalanche diodes Contamination métallique Métaux nobles VPD-DC-ICPMS SPAD Dangerosité Comportement en température DCR Metallic contamination Noble metals VPD-DC-ICPMS SPAD Dangerousness Behavior in temperature DCR 621.38 Capteurs optiques Dispositifs optoélectroniques Semiconducteurs -- Diffusion des impuretés Métaux de transition Métaux précieux Les métaux nobles (Au, Ag, Pt, Ir, Pd et Ru) sont utilisés en salle blanche pour la réalisation de dispositifs électroniques ou peuvent être apportés par les équipements de fabrication (composants d’alliage par exemple). Il a été montré qu’ils pouvaient impacter fortement les dispositifs. Il est alors nécessaire de procéder au contrôle des équipements pour diagnostiquer au plus tôt une contamination. Or, il n’existe pas de technique industrielle pour leur suivi et ce à des niveaux d’au moins 5.109 at.cm-2 - recommandation ITRS. Il se pose la question de la pertinence de ces recommandations en fonction des types de dispositifs (SPAD notamment). Dans un premier temps, les travaux ont consisté à développer une technique physico-chimique pour l’analyse des métaux nobles sur silicium par VPD-DC-ICPMS. Enfin, leur dangerosité vis-à-vis des équipements et des dispositifs a été évaluée d’après leur comportement en température et le DCR généré sur SPAD. Noble metals (Au, Ag, Pt, Ir, Pd and Ru) are used for the fabrication of microelectronics devices or can be brought by manufacturing tools (alloy components for example). It is well known that these impurities are detrimental to the efficiency of the devices. This implies a real and present need for control of their introduction in clean rooms to diagnose as soon as possible a contamination. Yet, there are no industrial technique for their follow-up at levels about 5.109 at.cm-2 - ITRS recommendations. The relevance of these recommendations according to the electronic device (SPAD in particular) could be questioned. At first, this study consisted in developing a physicochemical technique for the analysis of noble metals on Si wafers by VPD-DC-ICPMS. Then, their dangerousness towards tools and devices was established according to their behavior in temperature and the DCR generated on SPAD devices. Electronic Thesis or Dissertation Text fr PDF 10887265 Université de Strasbourg Strasbourg 2017-12-31 https://theses.hal.science/tel-01545414 application/pdf 10646450 https://publication-theses.unistra.fr/public/theses_doctorat/2016/Devita_Marie_2016_ED269.pdf http://www.theses.fr/2016STRAD029/abes https://theses.hal.science/tel-01545414 https://theses.hal.science/tel-01545414 https://theses.hal.science/tel-01545414 Devita Marie 1987-03-31 FR 202411923 21218128 https://theses.fr/2016STRAD029 2016STRAD029 https://doi.org/10.70675/c708ac23za05az4191z86f7zd22dc53f2799 2016-09-15 Physique et technologie des composants Strasbourg 131056549 Doctorat Docteur es non oui Mathiot Daniel MADS_DIRECTEUR_DE_THESE_1 157421597 Le Normand François MADS_PRESIDENT_DU_JURY 076738779 Fontaine Hervé MADS_MEMBRE_DU_JURY_1 067248241 Cagnat Nathalie MADS_MEMBRE_DU_JURY_2 132634910 Goguenheim Didier MADS_RAPPORTEUR_1 123427517 Léonard Didier MADS_RAPPORTEUR_2 031284280 École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg ; 1997-....) MADS_ECOLE_DOCTORALE_1 MA 156504863 Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (Strasbourg ; 2013-....) MADS_PARTENAIRE_DE_RECHERCHE_1 UMR7357 176969721 260728 ddc:620 Mathiot Daniel Le Normand François Fontaine Hervé Cagnat Nathalie Goguenheim Didier Léonard Didier École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg) Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (Strasbourg) PDF 10887265