Note ABES Development of compensated immersion 3D optical profiler based on interferometry Développement d'un profilomètre optique 3D à immersion compensée basé sur l'interférométrie CSI WLSI Linnik Interférométrie Immersion compensée Polymère élastique SPA PDMS CSI WLSI Linnik Interferometry Compensated immersion Elastic polymer SPA PDMS 621.38 Interférométrie Appareils et matériel Tomographie en cohérence optique Immersion dans l'eau Mesures spectrales (mathématiques) La CSI (Coherence Scanning Interferometry) ou la WLSI (White Light Scanning Interferometry) est une technique d'imagerie optique bien établie pour mesurer la rugosité de surface et la forme des surfaces microscopiques. Les avantages sont la sensibilité axiale nanométrique, un large champ de vision (des centaines de μm à plusieurs mm) et la vitesse de mesure (quelques secondes à quelques minutes). La technique est basée sur l'interférométrie optique avec une configuration de Linnik très difficile à ajuster mais elle présente plusieurs avantages: des objectifs d'ouverture numérique plus élevés pour améliorer la résolution spatiale; longue distance de travail, car il n'y a aucun besoin de l'un des composants devant l'objectif; une configuration de mode de lumière polarisée; franges contrastées en raison de la possibilité de modifier les voies optiques et les intensités des deux bras indépendamment. Alors que l'utilisation d'un objectif d'immersion dans l'eau présente les avantages suivants: éviter les problèmes liés à l'ajustement entre la formation des franges et le plan de formation de l'image; et pour minimiser la différence de dispersion entre les bras de l'interféromètre. Afin de pouvoir mesurer en mode eau et d'obtenir des échantillons à haute résolution latérale de types chimiques et biologiques, plusieurs défis doivent être surmontés tels que l'équilibrage de l'OPD sur les deux bras; trouver et ajuster les bonnes franges de contraste; trouver et adapter une compensation adéquate de l'eau dans le bras de référence horizontal pour faire fonctionner un système dans l'eau. Coherence Scanning Interferometry (CSI) or White Light Scanning Interferometry (WLSI) is a well-established optical imaging technique for measuring the surface roughness and the shape of microscopic surfaces. The advantages are the nanometric axial sensitivity, a wide field of view (hundreds of μm to several mm) and the measurement speed (a few seconds to a few minutes). The technique is based on optical interferometry with a Linnik configuration which very difficult to adjust but it offers several advantages: higher numerical aperture objectives to improve spatial resolution; long working distance, because there is no need for any of the components in front of the lens; a polarized light mode configuration; contrasting fringes because of the possibility of modifying the optical pathways and the intensities of the two arms independently. While the use of a water-immersion objective gives the following advantages: to avoid the problems related to the adjustment between the formation of the fringes and the plane of formation of the image; and to minimize the difference in dispersion between the arms of the interferometer. In order to be able to measure in water mode and to obtain high lateral resolution samples of chemical and biological types, several challenges must be overcome such as balancing the OPD on both arms; finding and adjusting the good contrast fringes; finding and adapting a suitable water compensation of water in horizontal reference arm to operate a system in water. Electronic Thesis or Dissertation Text en PDF 9145241 Université de Strasbourg Strasbourg 2019-12-31 https://theses.hal.science/tel-02159409 application/pdf 25572963 https://publication-theses.unistra.fr/public/theses_doctorat/2018/Mukhtar_Husneni_2018_ED269.pdf http://www.theses.fr/2018STRAD017/abes https://theses.hal.science/tel-02159409 https://theses.hal.science/tel-02159409 https://theses.hal.science/tel-02159409 Mukhtar Husneni 1981-11-21 FR 236515853 https://theses.fr/2018STRAD017 2018STRAD017 https://doi.org/10.70675/e0e5303ez8dc6z4ebczb160zf029fa7d0002 2018-06-29 Electronique, microélectronique, photonique Strasbourg 131056549 Doctorat Docteur es non oui Montgomery Paul MADS_DIRECTEUR_DE_THESE_1 071065229 Barillon Rémi MADS_PRESIDENT_DU_JURY 155964887 Gorecki Christophe MADS_RAPPORTEUR_1 050373188 Serio Bruno MADS_RAPPORTEUR_2 156208881 École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg ; 1997-....) MADS_ECOLE_DOCTORALE_1 156504863 Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (Strasbourg ; 2013-....) MADS_PARTENAIRE_DE_RECHERCHE_1 176969721 260728 ddc:620 Montgomery Paul Barillon Rémi Gorecki Christophe Serio Bruno École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg ; 1997-....) Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (Strasbourg) PDF 9145241