Contribution à l'étude du cuivre dans le silicium et d'une technique de caractérisation associée
Langue Français
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Auteur : Farid, Assia
Date de soutenance : 01-01-2003

Directeur(s) de thèse : Heiser, Thomas

Établissement de soutenance : Université Louis Pasteur (Strasbourg)
École doctorale : École doctorale Physique et chimie-physique (Strasbourg ; 1994-....)
 
Discipline : Physique
Classification : Physique

Mots-clés libres : Si , Cu , semiconducteur , traitement thermique , four rapid , TID , exo-diffusion , précipitation , dissolution , diffusion , solubilité.
Mots-clés :
  • Semiconducteurs - Thèses et écrits académiques
  • Silicium - Thèses et écrits académiques
Résumé : Le cuivre est un contaminant majeur du silicium, connu pour être à l'origine de défaillances de composants intégrés. Son introduction dans les composants submicroniques engendre un risque supplémentaire de contamination et de fait accentue le besoin d'outils pour la détection du cuivre à l'état de trace dans le silicium. Cette thèse a pour but d'étudier les propriétés physiques du cuivre dans le silicium en utilisant la technique TID (pour Transient Ion Drift) comme outil de détection.Le chapitre I expose le comportement des impuretés métalliques en particulier le cuivre dans le silicium et les enjeux technologiques quant à la détection du cuivre à l'état de trace. Une description de la méthode utilisée dans ce travail a été détaillée dans le deuxième chapitre. L'optimisation de la cinétique d'activation, étape thermique nécessaire avant toute mesure TID, pour minimiser le risque de contamination supplémentaire a fait l'objet du troisième chapitre. Le chapitre IV a été consacré à l'étude du comportement du cuivre interstitiel sous l'effet de la lumière visible. Des modèles théoriques à l'appuis ont été utilisés pour expliquer les différents résultats obtenus. La dernière partie du manuscrit a été consacrée à l'étude du comportement du cuivre dans le silicium de type FZ (Fusion de Zone).
 
Type de contenu : Text
 
Entrepôt d'origine : Ressource locale
Identifiant : ecrin-ori-285351
Type de ressource : Thèse