Méthodes de conception et de fabrication de dispositifs imageurs en optique diffractive à structures sub-longueur d onde
Langue Français
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Auteur : Raulot, Victorien
Date de soutenance : 29-09-2011

Directeur(s) de thèse : Meyrueis, Patrick - Serio, Bruno

Établissement de soutenance : Université de Strasbourg
École doctorale : École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg ; 1997-....)
 
Discipline : Photonique et image
Classification : Physique, Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres : éléments diffractifs à structures sub-longueur d'onde , simulation rigoureuse vectorielle , microscopie interférométrique , nano-lithographie électronique
Mots-clés :
  • Matériaux optiques - Thèses et écrits académiques
  • Optoélectronique - Thèses et écrits académiques
  • Diffraction - Thèses et écrits académiques
  • Nanotechnologie - Thèses et écrits académiques
Résumé : Les composants diffractifs à structures sub-longueur d'onde présentent l'avantage de ne nécessiter qu une seule étape de fabrication et d'atteindre des efficacités de diffraction très élevées, comparables à celles obtenues par des éléments diffractifs à plusieurs niveaux de phase. Ces éléments sont néanmoins plus difficiles à simuler puisque l'approximation scalaire de la propagation électromagnétique n est plus suffisante. Ils sont également plus difficiles à fabriquer puisque leurs dimensions critiques sont inférieures à la longueur d'onde de la lumière utilisée. Ainsi, le travail de thèse présenté dans ce mémoire concerne la conception, la simulation, la réalisation et la caractérisation d'éléments diffractifs à structures sub-longueur d'onde. Pour modéliser le comportement de la lumière traversant ce type d'éléments, la simulation a été scindée en deux parties : la méthode FDTD a été utilisée pour calculer la propagation électromagnétique en champ proche, c est à dire autour de l'élément diffractif, et la méthode RSM, méthode modale, pour calculer efficacement la propagation dans l'espace libre. Les premiers composants tests ont été réalisés par nano-lithographie électronique dans une couche mince de résine électro-sensible (SU8), afin de déterminer les structures réalisables avec ce type de dispositif. Ces différents éléments ont ensuite été caractérisés par microscopie à force atomique, électronique, et interférométrique à contrôle de polarisation, fonctionnant en réflexion.
 
Type de contenu : Text
 
Entrepôt d'origine : Ressource locale
Identifiant : ecrin-ori-307827
Type de ressource : Thèse