Photonic jet for spatial resolution improvement in direct pulse near-IR laser micro-etching
Langue Anglais
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Auteur : Abdurrochman, Andri
Date de soutenance : 15-09-2015

Directeur(s) de thèse : Fontaine, Joël - Lecler, Sylvain

Président : Meyrueis, Patrick
Rapporteur(s) : Delaporte, Philippe - Sauviac, Bruno
Membre(s) du jury : Tumbelaka, Bernard Yahya

Établissement de soutenance : Strasbourg
Laboratoire : Laboratoire des sciences de l'ingénieur, de l'informatique et de l'imagerie (Strasbourg ; 2013-....)
École doctorale : École doctorale Mathématiques, sciences de l'information et de l'ingénieur (Strasbourg ; 1997-....)
 
Discipline : Photonique et image
Classification : Physique, Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres : Jet photonique, Gravure directe par laser, Microsphère en verre, Limite de diffraction, Fibre optique, Silicium
Mots-clés :
  • Lasers femtoseconde
  • Cristaux photoniques
  • Fibres optiques
  • Faisceaux laser -- Diffraction
Résumé : Ce travail de thèse a permis de montrer que la résolution latérale de gravure de lasers proches infrarouges nanosecondes pouvait être réduite en faisant passer le faisceau à travers des microbilles de verre ou des fibres de silice à embouts façonnés de telle manière à générer des jets photoniques. Sur du silicium la taille de gravure peut être réduite d’un facteur 44 comparée à celle d’une gravure directe sans jet photonique. Les densités de puissances atteintes permettent même d’envisager de graver le verre avec ce type de laser malgré sa très faible absorption à ces longueurs d’onde. Pour la première fois nous avons montré la possibilité d’obtenir des jets photoniques en sortie de fibre optique à embout façonné. Nous avons montré leur capacité à graver le silicium à l’échelle du micron et ce avec un laser proche infrarouge nanoseconde. La possible utilisation de fibres optiques est une condition clairement décisive à la réalisation d’un réel procédé laser capable de graver des motifs complexes et de façon répétée.
 
Type de contenu : Text
Format : PDF
 
Entrepôt d'origine : STAR : dépôt national des thèses électroniques françaises
Identifiant : 2015STRAD028
Type de ressource : Thèse